測量范圍與分格值  
 
1．x，y向坐標

測量范圍： X－Y向 150×100mm（選購200×150mm)

 測量分辨率 0.001mm

2．瞄準顯微鏡

升降行程 120mm

3．測角目鏡

角度測量范圍 360°

分度值 1´

4．輪廓目鏡測量分辨率

角度測量范圍 ±7°

分度值 10´

圓弧分劃板 曲率半徑 R自0.1至100mm

5．光學定位器

測頭直徑 φ3±0.1mm

測頭直徑的檢定極限誤差 ≤0.0005mm

       測量力 0.098±0.0196N

       最大測量深度 15mm

    6．玻璃工作臺

       玻璃臺面尺寸 (225)

    7．最大承載量 15kg

儀器精度 

在滿足儀器所規定的溫度要求條件下，儀器有如下的保證：

   1．x、y向坐標

用玻璃mm分劃尺進行檢定時，儀器的準確度： （4+L/25 ）μm

       L —— 為測量范圍，單位：mm

    2．測角目鏡

       測量角度的最大不準確度 ≤1′

    3．雙像目鏡

       合像的不穩定性 ≤0.001mm

       合像的不正確性 ≤0.001mm

    4．光學定位器

       測量的不穩定性 ≤0.001mm

       測量的不準確性  ≤0.0015mm

四．電源

    電源頻率 50HZ

    功率(不包括數顯部分) 100W

    輸入電壓 AC 220V

    輸出電壓 AC 6V

五．儀器重量、體積

    儀器主機凈重 250kg 

   儀器主機外形尺寸 (l×b×h) mm 550 ×500 ×60