半導(dǎo)體器件分析儀是一款具有 10 插槽配置的模塊化儀器，可支持 IV 和 CV 測(cè)量及快速高電壓脈

沖測(cè)量。它采用常見的 Microsoft ® Windows ® 用戶界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 軟

件。該軟件為器件表征提供更直觀的、面向任務(wù)的新方法。Agilent B1500A 具有極佳的低電流、

低電壓和集成電容測(cè)量能力，因此可滿足廣泛的半導(dǎo)體器件表征需求（IC-CAP 支持）。它還是一

款用于非易失存儲(chǔ)單元表征和高速器件表征（包括先進(jìn) NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測(cè)量）的出色

解決方案。  

應(yīng)用主題  

現(xiàn)已提供有關(guān)太陽(yáng)能電池表征的新應(yīng)用指南和示例程序。 

模塊信息  

它支持 3 類 SMU 和 ASU，以執(zhí)行超精密測(cè)量。有關(guān) SMU 的更多信息，請(qǐng)參見本頁(yè)的模塊選型

指南。  

它（HV-SPGU：高電壓――半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元）模塊可提高閃存測(cè)試的吞吐量。  

（WGFMU：波形發(fā)生器和快速測(cè)量單元）模塊可幫助您執(zhí)行以前無法進(jìn)行的關(guān)鍵脈沖測(cè)量。 

提供各種脈沖解決方案。最新的安捷倫選型指南可幫助您選擇最適合您應(yīng)用的解決方案。更多信

息，請(qǐng)?jiān)L問 安捷倫脈沖 IV 參數(shù)測(cè)試解決方案頁(yè)面。 EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT 

不但可以幫助您提高測(cè)量效率，而且還可提供易于使用的測(cè)試環(huán)境。更多信息，請(qǐng)?jiān)L問 

EasyEXPERT 頁(yè)面。  

安捷倫低泄漏開關(guān)矩陣系列能夠靈活地生成自動(dòng)化測(cè)量解決方案，而不會(huì)影響測(cè)量性能。更多信

息，請(qǐng)?jiān)L問 開關(guān)矩陣系列頁(yè)面。  

特性和優(yōu)勢(shì)  

優(yōu)異的 IV 測(cè)量性能：0.1 fA / 0.5 µV 測(cè)量分辨率 

- 測(cè)量特性包括單通道和多通道掃描、時(shí)間采樣、列表掃描、準(zhǔn)靜態(tài) CV（使用 SMU）、直接控制

和針對(duì) HV-SPGU 的任意線性波形生成（ALWG）GUI。  

可選的集成電容模塊支持高達(dá) 5 MHz 的 CV 測(cè)量  

基于定位器的可選 CV-IV 開關(guān)解決方案提供 0.5 µV 的電壓測(cè)量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 

fA 的電流測(cè)量分辨率能力  

使用內(nèi)置半自動(dòng)晶圓探頭驅(qū)動(dòng)程序可輕松自動(dòng)完成測(cè)試；在快速測(cè)試模式下，用戶無需編程即可排

列測(cè)試順序  

可選的高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可編程脈沖寬度和 +/- 40 V

（80 V 峰峰值）輸出  

可選的波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元（WGFMU）提供 ALWG 和快速電流或電壓測(cè)量能力  

10 ns 脈沖 IV 解決方案，用于表征高 k 柵極電介質(zhì)和 SOI（絕緣硅）晶體管  

典型測(cè)試模式可提供 4155/4156 界面的外觀、風(fēng)格和術(shù)語(yǔ)，同時(shí)通過充分利用 Microsoft ® 

Windows ® GUI 特性可加強(qiáng)用戶交互